Откачные системы

Качество материала, обработанного в вакууме, зависит от расположения насоса, сечения вакуумпроводов, емкости и герметичности системы. Для многих процессов полезно, если не необходимо, иметь вначале давление порядка одного микрона или даже ниже. Для достижения столь высокого вакуума в обычной практике к механическим насосам подключают масляные диффузионные или эжекторные насосы.

На фиг. 6 показана типовая откачная система. Она состоит из механического форвакуумного, механического вспомогательного насосов и масляного диффузионного насоса. Высокопроизводительный форвакуумный насос используется для снижения давления до пределов, при которых может работать диффузионный насос. Этот насос значительно сокращает начальный период вакуумирования. После достижения в системе вакуума порядка 100—800 мк рт. ст., который определяется устойчивой работой используемого диффузионного насоса, открывается клапан между диффузионным насосом и камерой, а вентиль между камерой и механическим насосом перекрывается. Если в процессе работы не выделяется большое количество газов, то в качестве вспомогательного к диффузионному насосу используют механический насос малой производительности ; в этом случае высокопроизводительный насос отсоединяется. Преимущества использования вспомогательного насоса при охлаждении — очевидны. Иногда к системе подключают охлаждающие ловушки для конденсации паров. Эти приспособления особенно важны при снижении давления ниже 1 мк рт. ст.

Обычно насосы размещают как можно ближе к печи. Диаметр трубопроводов откачной системы часто по величине приближается к диаметру самой камеры. Эти меры уменьшают потери на линии и улучшают вакуум в реторте.

Создание герметичной системы и обнаружение места подсоса воздуха представляет трудную задачу. Незначительная трещина или ничтожное отверстие в стенках камеры могут свести на нет эффект обработки в вакууме. Задача еще больше осложняется при использовании конструкций печей, в которых стенки камеры обогревают снаружи.