Покрытие методом испарения, или металлизации

Покрытие испарением осуществляется в глубоком вакууме. В основном процесс состоит в том, что материал для покрытия нагревается так, чтобы давление его паров превышало давление в системе. Образовавшиеся пары конденсируются на относительно холодной поверхности для покрытия.

Полученное покрытие имеет толщину 0,025—0,085 мм и существенно не изменяет рельефа поверхности.

Оборудование для камерной металлизации. Основное оборудование для камерной металлизации состоит из вакуумного корпуса и откачной системы, позволяющей получать разрежение до 1 мк рт. ст. Необходимы также вводы тока внутрь камеры для подогрева испаряемого материала и каркасы для подвески покрываемых деталей. Камеры могут иметь размеры от самых маленьких, какие применяются в электронной микроскопии, до больших камер диаметром свыше метра — для одновременного покрытия большого числа деталей.

На фиг. 2 показана обычная камера для металлизации. Источник энергии для испарения монтируется таким образом, что его нити накала расположены параллельно горизонтальной оси камеры. На фиг. 3 представлено планетарное приспособление для подвески деталей. Извлечение этого приспособления из камеры облегчает подвеску деталей перед проведением металлизации. При использовании нескольких таких приспособлений производительность камеры значительно увеличивается.

Источник тепла

Источником тепла в камерных металлизаторах обычно является спираль из вольфрамовой проволоки, нагреваемой сопротивлением. Часто в качестве испаряемого материала применяют алюминий, подвешиваемый в виде скобок или сережек на нагревателе (см. фиг. 4). В процессе покрытия откачивают камеру и включают ток; вольфрам разогревается, алюминий расплавляется и смачивает проволоку нагревателя. Смачивание обеспечивает равномерное испарение алюминия с поверхности вольфрама. Поскольку площадь испарения велика, достигается значи-i тельная его скорость. За несколько секунд алюминий полностью испаряется. При смачивании в алюминии растворяется некоторое количество¹ вольфрама, в особенности в местах контакта скобок с проволокой. После растекания алюминия небольшое количество вольфрама из мест контакта выплавляется, но после испарения алюминия вольфрам частично восстанавливается. К сожалению, местные потери вольфрама ограничивают срок службы нагревателя. Распространение паров алюминия подчиняется законам геометрической оптики и следует по направлению световых лучей — прямолинейно к первой контактируемой поверхности. При; контакте пара с поверхностью, преграждающей его распространение, образуется блестящий слой в месте контакта.