Вакуумные откачные системы

Основным фактором, благоприятствующим развитию вакуумной металлургии в последнее время, является наличие высокоэффективных откачных вакуумных систем. Цель настоящей статьи — ознакомить читателя с конструкциями вакуумных насосов, выявить критерии, определяющие выбор их типа и мощности в соответствии с целевым назначением насосов, а также дать краткие описания вакуумпроводов, связанных с ними.

В статье всюду, где возможно, применяются метрические меры. Давление дано в мм или мк рт. ст. (1000 мк = 1 мм рт. ст.). Скорость откачки дана в л/сек на входе в насос. Производительность насоса Q есть произведение скорости откачки 8 на давление р на входе в насос. Единицей измерения производительности является л • мк/сек. Эта единица пропорциональна скорости потока в граммах в единицу времени. При 20° 1 л • мк/сек воздуха приблизительно равен 1,6 • 10^-в г/сек.

Кривые скорости откачки обычно даются для сухого воздуха. Точность этих кривых находится в прямой зависимости от способа измерения давления. Весьма значительные ошибки при измерении давления могут иметь место, если при измерении скорости откачки присутствуют небольшие количества конденсирующихся газов. При использовании манометров системы Мак-Леода или других типов манометров с охлаждаемыми ловушками значения измеряемых давлений получаются заниженными, что приводит к весьма завышенным скоростям откачки. При измерении давлений до 5 мк рт. ст. более надежные результаты дает альфатрон (ионизационный манометр с. холодным катодом), где используются в качестве ионизатора испускаемые радиоактивным источником а-частицы, а для более низких давлений можно применять ионизационный манометр с горячим катодом. Методы измерения скорости откачки подробно описал Дейтон [1].